中国学者开发新式飞秒激光等离子激元光刻技术,可添工石墨烯

 体育资讯     |      2020-05-12 07:58

(原标题:吾开发新式飞秒激光等离子激元光刻技术 可添工石墨烯)(本文来自澎湃消息,更众原创资讯请下载“澎湃消息”APP)

钻研始次表清新FPL技术在二维薄膜原料上能够实现大面积高质量亚微米周期组织的迅速制备。得好于飞秒激光的非线性光学特点,FPL技术添工过程不易受原料外观弱点、杂质等因素的影响,添工基底也不易受到原料栽类的局限。添工原料外现出了卓异的死板性能,能够行使传统的湿迁移法进走完善迁移。这为有关原料周期性微纳组织的变通制备奠定了基础。

飞秒激光添工技术倚赖着超高峰值功率和超短脉冲不息时间的希奇上风,被普及行使于众栽原料的超仔细微纳添工周围。然而,以激光直写为例,固然其精度很高,但在超仔细微纳制备上,效果仍有待挑高。同时保证添工精度和添工效果是该技术必要解决的主要题目之一。“如何行使变通浅易的添工手腕解决添工精度和添工效果题目是拓展飞秒激光实用化的关键所在。”中科院长春光学邃密死板与物理钻研所钻研员杨建军说。

5月10日,记者从中科院长春光学邃密死板与物理钻研所获悉,来自该所等单位的钻研人员,开发了一栽新式飞秒激光等离子激元光刻技术(FPL)。行使该技术,钻研人员在百纳米厚的硅基氧化石墨烯薄膜外观实现了高质量微纳周期组织的迅速制备。有关效果发外在《光:科学与行使》上。

石墨烯被发现以来,二维原料逐渐进入人们视野,成为原料周围的钻研炎点。自拼装、电子束刻蚀和极紫外光刻等技术能够在石墨烯上制备微纳组织,进而调控其带隙、吸取、载流子迁移率等性能。但这些技术存在着耗时长、成本高、匮乏通用性等题目。所以,如何降矮成本,高效制备微纳组织石墨烯,是如今必要解决的主要题目。